Работы. Мемуар

Выделяющаяся при этом разностная энергия может передаться третьему электрону, который покинет атом и может быть зарегистрирован. Оже-электрон интересен тем, что его энергия строго определяется энергиями всех трёх участвующих электронов, а от энергии первоначального воздействия на атом не зависит. Таким образом, определив энергию пойманного Оже-электрона, можно сравнить её с атласом Оже-спектров и сказать, например: ага, этот Оже-электрон имеет энергию 91 эВ. Значит, он вылетел из атома кремния.

Притом у него есть небольшой химический сдвиг по шкале энергии (т.к. в атласе спектров указана энергия 92 эВ), показывающий, что он связан, вероятно, с атомом кислорода (для азота был бы сдвиг меньше)… Поскольку Оже-электроны, в случае соударения с одним из атомов вещества, теряют свою характерную энергию, те из них, что всё же отображаются на спектре в виде характерных пиков, а не размазались по спектру и потерялись среди прочих электронов, вылетели из самого верхнего слоя образца. Т.о., это метод элементного анализа очень тонкого слоя поверхности. В сочетании с распылением образца ионной пушкой он превращается в метод послойного элементного анализа. Сам спектрометр состоит из вакуумной камеры с кучей усеянных по окружности гайками фланцев, к которым присоединены датчики давления, электронные и ионные пушки, анализатор, насосы, ловушки для остаточных газов, окошки, манипуляторы и пр. Выглядит он как увеличенный в размерах железный морской ёж. Впрочем, примерно так выглядят многие высоковакуумные исследовательские приборы. Главный элемент – анализатор, у Оже-спектрометра он чаще всего типа «цилиндрическое зеркало». Состоит из двух цилиндров, вложенных один в другой, между которыми электрическое поле. Электроны влетают в пространство между цилиндрами через кольцевую щель на переднем конце внутреннего цилиндра, поворачивают в электрическом поле и вылетают через такую же щель в его конце – те, энергия которых соответствует приложенному в данный момент напряжению между цилиндрами. Испускаются электроны образцом, который помещается в фокусе анализатора, а попадают на приёмник, который в другом фокусе, с другого конца анализатора. От образца те электроны, что попадают в анализатор, летят в пространстве между двух конусов, упирающихся в края первой щели. Чтобы записать спектр, напряжение, подаваемое на цилиндры анализатора, меняется в заданном интервале.